분류 산업지원
기술명 Nanoindentation 방법을 이용한 미소영역의 기계적 특성평가기술
연구자 현양기
특허출원번호
개요 나노인덴테이션 기술은 vickers 경도 시험법과 같은 기존의 시험법으로는 불가능하였던 마이크로메타 크
기의 재료 경도를 측정하기 위하여 고안된 시험방법으로 일반 압입 경도 시험법과 달리 압자를 시험 재료
에 압입하여 하중과 변위를 연속적으로 측정하고, 측정된 변위와 하중으로부터 탄성계수 및 경도, 잔류응
력, 점탄성 물성, 유동 곡선 등 재료의 물성평가가 가능함. 그리고 Hot Stage를 이용한 고온물성 평가 및
AFM과 유사한 기능을 가진 Nano Vision을 이용한 재료 표면의 3차원 측정이 가능함
•극미세 부품소재의 미소영역 물성 평가기술은 기존의 산업분야뿐만 아니라 우리나라의 강점 산업분야인
IT와 반도체에서 확보해야할 중요한 기술
•측정 대상 재료 범위는 금속, 세라믹, 폴리머, 박막재료, 생체재료 등 광범위하며 계속 확대되고 있음
•탄성계수, 파괴거동, 잔류응력, 박막 계면 특성, 크립과 같은 시간 의존적 특성 등으로 측정 물성도
다양해지고 있음.
첨부파일   87.pdf (284.2K) [32] DATE : 2014-02-13 13:19:53