개요 |
- 태양전지용 Si박막소재의 기존 기술 한계를 뛰어넘는 신개념의 고품위 실리콘 반도체박막 합성법 원천기술을 개발
- 결정성 제어와 증착속도 요구사항을 동시에 만족시킬 수 있는 대기압 플라즈마 CVD공정 기술과 장비를 개발
- 신개념 저가형 Si박막 태양전지 (도핑프리형) 제조 기술을 개발
- 박막태양전지용 핵심소재에 대한 평가기반을 구축, 박막 태양전지 소재 연구의 Hub 마련
대기압 플라즈마 CVD기술
- 높은 공정압력(100torr~대기압) 플라즈마 공정
- 플라즈마 밀도 및 이온 에너지 조정 용이
- 고속 증착 가능 (100nm/sec이상, 고정형)
- 저가형 R2R 공정 구현
도핑프리 Si박막태양전지 기술
- 인라인 공정으로 인한 대량생산 체계 구축 가능
- 초기 설비투자비 대폭 감소
- p/n 도핑용 유해가스(B2H6/PH3) 미사용 친환경 공정
기술이 적용되는 제품
- Si박막 태양전지 및 광센서, 스마트유리창호
- Si함침된 기능성 금속박판소재
- 반사방지/내지문 표면처리된 고분자필름
기술이 적용되는 서비스
- 에너지환경문제 해결
- 주택, 고층빌딩 등의 제로에너지 건축물 실현
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