분류
분말/세라믹기술
기술명
고밀도 압전 후막 제조 기술
연구자
박동수
특허출원번호
38538
,
75132
개요
상온 분사공정(Aerosol-Deposition)을 이용한 고밀도 압전 후막 제조기술
압전 후막의 광범위 두께 조절(1~130㎛), 대면적(250x250㎟) 성막기술
비연계(KNN계) 압전후막 제조 기술
첨부파일
46-고밀도 압전 후막 제조 기술.jpg (759.0K)
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DATE : 2014-02-12 10:40:04