분류 분말/세라믹기술
기술명 정전 분무 코팅 기술
연구자 최준환
특허출원번호 132371
개요 전기장 인가를 통해 하전된 미세 액적을 생성하고 이를 기판 위에 코팅하여 무기 및 유기소재 박막 및 후
막을 제조하는 기술임. 일반 spray coating에 비해 분무액적의 미세화 및 균일화, 성막 성능 및 효율의 증
대, 대전에 의한 액적의 응집 방지 등의 장점을 가짐. 기술의 특징으로는 간단한 장치(고진공장치 사용 안
함), 저비용 공정(고압개스 사용 안함), 빠른 증착속도, 박막 형상/조성 조절 용이(특히 환경/에너지용 다공
질막 제조에 적합), 원료물질 선택의 다양성, 친환경적인 전구체 사용, 전구체의 용이한 교체에 따른 다층
막 제조 용이, 높은 증착 효율 등을 들 수 있음. 본 기술은 저비용 코팅공정으로 미세 액적에 의한 나노입
자 직접 코팅을 통해 밀착력을 향상 시킬 수 있으며 다공성 구조와 치밀 구조 조절이 가능 하고 도핑원소
의 첨가가 용이.
첨부파일   43.pdf (292.4K) [76] DATE : 2014-02-13 11:50:07