| 분류 | 표면기술 |
|---|---|
| 기술명 | 자장여과 아크 플라즈마 응용 Ti-Si계 고경도 박막 형성기술 |
| 연구자 | 김종국 |
| 특허출원번호 | 87766 |
| 개요 | •자장 여과 아크 플라즈마(Filtered vacuum arc, FVA) 장치 설계·제작 기술
•Ti-Si 계열 나노 복합막 형성 공정용 FVA 및 비평형 마그네트론 장치 설계·제작 기술 •Metal-organic 소스 적용 Ti-Si 계열 박막 설계 기술 및 공정 기술(예시 : TMS,TEOS) •고경도/저마찰 Ti-Si 계열 나노 복합막 합성 기술 및 공정 안정화 |
| 첨부파일 |  55.pdf (265.6K) [35] DATE : 2014-02-13 11:57:06 |
