작성일 : 16-12-19 16:26
[2016년] 경도 30GPa 이상 Hydrogen-free DLC 후막 코팅 공정기술 개발
 글쓴이 : TLO
조회 : 3,269  
   35._경도_30GPa_이상_Hydrogen-free_DLC_후막_코팅_공정기술_개발.pdf (1.6M) [24] DATE : 2016-12-19 16:26:26

● 최근 산업 기계 및 자동차 분야의 에너지 효율 향상 및 비철 가공용
   절삭 공구에 저마찰 고경도 특성이 우수한 무수소 DLC막 수요 증가

● 20여년 간 운영한 자장여과 아크 소스 기술 및 이를 이용한
    고속 대면적(~ 300 mm) 증착 시스템 기술

● 경도 30 GPa 이상 무수소 DLC 후막화(>20 um) 코팅 기술