| 분류 | 표면기술 |
|---|---|
| 기술명 | 반도체 패키지 및 검사용 probe상 전도성 내마모 코팅 기술 |
| 연구자 | 김종국 |
| 특허출원번호 | KR10-2016-0078829 |
| 개요 | ● 기존 전기 전도성막의 경우 전도성 우수하나 접촉에 의한 마모 및 이형성 .
부족으로 낮은 수명 문제점 발생 ● 반도체 소자 검사 장비용 핵심 부품에 전도성 DLC막 형성을 통한 사용 수명 증가 연구 ● 금속층의 내구성 향상 및 전기 전도성 확보를 위한 무수소 DLC막 형성 기술 |
| 첨부파일 |  090_김종국_반도체_패키지_및_검사용_probe상_전도성_내마모_코팅_기술.jpg (943.5K) [35] DATE : 2018-02-14 10:06:37 |
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