| 특허명 | 금속박막과 실리콘계화합물을 포함하는 투습방지막을 가진 기판 및 이의 제조방법 |
|---|---|
| 출원등록국 | 한국 |
| 출원번호 | 2008-0034828 |
| 출원일 | 2008-04-15 |
| 등록번호 | 0854441 |
| 등록일 | 2008-08-20 |
| 대표발명자 | 기능박막연구그룹 이건환 |
| 초록 | 본 ë°œëª…ì€ ë¯¸ì„¸ ê¸°ê³µì´ í˜•ì„±ë˜ì§€ ì•Šì•„ ë›°ì–´ë‚œ 투습방지 ì„±ëŠ¥ì„ ê°€ì§€ëŠ” íˆ¬ìŠµë°©ì§€ë§‰ì´ êµ¬ë¹„ëœ ê¸°íŒ ë° ì´ì˜ ì œì¡°ë°©ë²•ì— ê´€í•œ 것ì´ë‹¤.
본 ë°œëª…ì— ì˜í•œ íˆ¬ìŠµë°©ì§€ë§‰ì´ êµ¬ë¹„ëœ ê¸°íŒì€, í´ë¦¬ë¨¸ë¡œ ì´ë£¨ì–´ì§„ 투명 모재(120) ì¼ë©´ì— 물리ì ì¦ê¸° ì¦ì°©ë²•(PVD)ì„ í†µí•´ ì¦ì°©ëœ 금ì†ë°•ë§‰(142)ê³¼, 플ë¼ì¦ˆë§ˆ 중합법(Plasma polymerization)ì„ í†µí•´ í˜•ì„±ëœ ì‹¤ë¦¬ì½˜ê³„í™”í•©ë¬¼(144)ì„ í¬í•¨í•˜ì—¬ 구성ëœë‹¤. ë˜í•œ, 본 ë°œëª…ì— ì˜í•œ íˆ¬ìŠµë°©ì§€ë§‰ì´ êµ¬ë¹„ëœ ê¸°íŒì˜ ì œì¡°ë°©ë²•ì€, í´ë¦¬ë¨¸ë¡œ ì´ë£¨ì–´ì§„ 투명 모재(120)ì˜ í‘œë©´ì„ ì´ì˜¨ë¹”ì„ ì´ìš©í•˜ì—¬ ì „ì²˜ë¦¬í•˜ëŠ” ì „ì²˜ë¦¬ë‹¨ê³„(S100)와; ìƒê¸° ëª¨ìž¬ì— ìŠ¤í¼í„°ë§ë²•(Sputtering) ë˜ëŠ” 진공ì¦ì°©ë²•(Thermal Evaporation)으로 금ì†ë°•ë§‰ì„ 형성하는 ë°•ë§‰í˜•ì„±ê³¼ì •(S220)ê³¼, ìƒê¸° 금ì†ë°•ë§‰ ìƒë©´ì— 플ë¼ì¦ˆë§ˆì¤‘합법(Plasma Polymerization)으로 ì‹¤ë¦¬ì½˜ê³„í™”í•©ë¬¼ì„ í˜•ì„±í•˜ëŠ” í™”í•©ë¬¼í˜•ì„±ê³¼ì •(S240)ì„ í¬í•¨í•˜ëŠ” 투습방지막형성단계(S200);ë¡œ ì´ë£¨ì–´ì§€ëŠ” ê²ƒì„ íŠ¹ì§•ìœ¼ë¡œ 한다. ì´ì™€ ê°™ì´ êµ¬ì„±ë˜ëŠ” 본 ë°œëª…ì— ë”°ë¥´ë©´, íˆ¬ëª…ì„±ì€ ìœ ì§€í•˜ë©´ì„œ íˆ¬ìŠµë„ ë° íˆ¬ì‚°ì†Œë„ê°€ íšê¸°ì 으로 ê°ì†Œí•˜ëŠ” ì´ì ì´ ìžˆë‹¤. |
| 발명명칭 | |
| 출원인 | |
| 도면 | |
| 첨부파일 |
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