보유특허

특허명 기능층 개재된 실리콘계 화합물 박막 기반의 유연 보호막 및 이의 제조 방법
출원등록국 한국
출원번호 2012-0150733
출원일 2012-12-21
등록번호 1398967
등록일 2014-05-19
대표발명자 플라즈마코팅연구실 이건환
초록 본 발명은 플렉서블 디스플레이에 요구되는 가스 배리어 성능이 뛰어남은 물론 제품 양산성 측면도 동시에 만족시킬 수 있는 기능층이 개재된 실리콘계 화합물 박막 기반의 유연 보호막 및 이의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 기능층이 개재된 실리콘계 화합물 박막 기반의 유연 보호막은, 기판 상에 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)를 통해 형성되는 제1 실리콘계 화합물 박막과; 상기 제1 실리콘계 화합물 박막 상에 형성되는 제1 기능층과; 상기 제1 기능층 상에 PECVD를 통해 형성되는 제2 실리콘계 화합물 박막과; 상기 제2 실리콘계 화합물 박막 상에 형성되는 제2 기능층; 및 상기 제2 기능층 상에 PECVD를 통해 형성되는 제3 실리콘계 화합물 박막을 포함하고, 상기 제1 실리콘계 화합물 박막, 제2 실리콘계 화합물 박막, 및 제3 실리콘계 화합물 박막은, SiO X , SiO x N y , SiC x H y O z 중에서 선택된 어느 하나로 형성되되, 적어도 어느 하나는 실리계콘계 무기화합물 박막으로 형성되고, 상기 제1 기능층은 알카리 금속 또는 알카리 토금속을 포함하여 형성되며, 상기 제2 기능층은 페릴렌 화합물을 포함하여 형성되고 적어도 일부가 적어도 상기 제2 실리콘계 화합물 박막의 입자 간의 공극을 채우는...(이하생략)
발명명칭 기능층이 개재된 실리콘계 화합물 박막 기반의 유연 보호막 및 이의 제조 방법
출원인 한국기계연구원
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