| 초록 |
본 발명은 EBSD를 이용하여 대상 시편의 결정상과 결정방위를 측정하는 단계; 상기 측정된 결정방위와 결정상을 바탕으로, 구조단위의 구분 기준값에 따라 구조단위를 구분하는 단계; 상호 인접한 2개의 픽셀에서 각각 측정점을 선택하는 단계; 상기 2개의 측정점이 위치하는 픽셀의 결정상이 동일한 지 여부를 판단하는 단계; 및 상기 2개의 측정점이 위치하는 픽셀의 결정방위가 동일한 지 여부를 판단하는 단계를 포함하는 전자후방산란회절 맵핑 결과 상의 상인식 오류의 필터링 방법에 관한 것으로, 결정 격자가 유사한 2개 이상의 결정상을 포함하는 경우에, 결정상을 나타내는 Phase map과 결정방위를 나타내는 ND 맵을 상호 비교하여, Phase map에 나타나는 서로 상이한 결정상이 노이즈인지 여부를 확인하고, 또한, Phase map에 나타나는 서로 상이한 결정상이 노이즈임이 확인되면, 서로 상이한 결정상을 어느 하나의 결정상으로 대체함으로서, 상구분 오류로 인한 노이즈 발생을 완전히 해결할 수 있다. |
