특허명 | 플라즈마 아크 방전법을 이용한 희토류계 질화물의 제조방법 |
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출원등록국 | 한국 |
출원번호 | 2013-0046275 |
출원일 | 2013-04-25 |
등록번호 | 1338346 |
등록일 | 2013-12-02 |
대표발명자 | 나노기능분말연구실 김동수 |
초록 | 본 발명은 희토류계 금속 모재를 제공하는 단계; 상기 희토류계 금속 모재를 플라즈마 발생수단의 내부로 장입하는 단계; 상기 희토류계 금속 모재를 플라즈마 아크로 증발시키는 단계; 상기 증발된 희토류계 증기와 반응가스가 반응하여, 희토류계 질화물의 핵이 생성 및 성장하는 단계; 및 상기 희토류계 질화물 핵의 결정성장을 억제시켜, 희토류계 질화물의 나노분말을 형성하는 단계를 포함하는 희토류계 질화물의 제조방법에 관한 것으로, 희토류계 금속 모재를 플라즈마 아크로 증발시키는 아크 플라즈마 방전법에 의해 용이하게 희토류계 질화물을 제조할 수 있다. |
발명명칭 | 플라즈마 아크 방전법을 이용한 희토류계 질화물의 제조방법 |
출원인 | 한국기계연구원 |
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