보유특허

특허명 이온 빔 소스의 양극 지지부 및 이를 갖는 이온 빔 소스
출원등록국 한국
출원번호 2013-0060050
출원일 2013-05-28
등록번호 1491255
등록일 2015-02-02
대표발명자 플라즈마코팅연구실 김도근
초록 이온 빔 소스의 양극 지지부는 이온 빔 소스의 몸체를 관통하여 양극을 지지하고, 양극 내부로 냉매를 순환시키기 위한 유로를 가지며, 양극으로 전력을 공급하기 위해 도전성 물질로 이루어지는 제1 구조물 및 제1 구조물과 몸체가 전기적으로 연결되는 것을 방지하기 위해 절연 물질로 이루어지며 제1 구조물을 감싸도록 구비되는 제2 구조물을 포함할 수 있다. 따라서, 양극 지지부는 양극을 냉각시킬 수 있고, 몸체와 양극이 전기적으로 절연시킬 수 있다.
발명명칭 이온 빔 소스의 양극 지지부 및 이를 갖는 이온 빔 소스
출원인 한국기계연구원
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첨부파일 키프리스 검색