보유특허

특허명 히터 겸용 정전척
출원등록국 한국
출원번호 2014-0022035
출원일 2014-02-25
등록번호 1387916
등록일 2014-04-16
대표발명자 플라즈마코팅연구실 변응선
초록 본 발명은 금속 모재; 상기 금속 모재의 상부에 형성된 유전층; 및 상기 유전층 내부에 구비되며 정전기력 발생 및 발열을 동시에 수행할 수 있는 전극층을 포함하는 히터 겸용 정전척에 관한 것으로서, 유전층 내에 위치한 전극층에 정전기력 발생용 고전압 전원 및 전극 가열용 저전압 전원을 동시에 연결하여, 단일 전극층에 의해 플라즈마 공정 도중 실리콘 웨이퍼를 고정시키고, 동시에 웨이퍼를 가열할 수 있는 기능을 구비한 히터 겸용 정전척에 관한 것이다. 본 발명에 따른 히터 겸용 정전척은 별도의 부가 히터를 장착하지 않고 온도 조절이 가능하며, 동시에 실리콘 웨이퍼를 고정할 수 있는 정전기력을 발생한다. 따라서, 본 발명에 의한 정전척은 선폭 미세화에 따른 고밀도, 고온 건식에칭 공정 등에 유용하게 사용될 수 있으며, 특히, 온도 제어 기능이 없는 종래의 정전척 시스템을 크게 변경하지 않고도 척과 히터의 두 가지 기능이 동시에 발현되도록 적용이 가능하므로, 기존 제조 공정 및 장치를 그대로 사용할 수 있는 경제성이 매우 높아, 산업현장에서 즉시 사용가능한 장점이 있다.
발명명칭 히터 겸용 정전척
출원인 한국기계연구원
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첨부파일 키프리스 검색