보유특허

특허명 고열전도율을 갖는 반응소결질화규소의 제조 방법
출원등록국 한국
출원번호 2014-0050614
출원일 2014-04-28
등록번호 1639576
등록일 2016-07-08
대표발명자 엔지니어링세라믹연구실 박영조
초록 전력 디바이스 등의 방열 구조에 사용하기 적합한 고열전도율을 갖는 반응소결질화규소소결체의 제조 방법이 제공된다. 본 발명은 Si 분말을 포함하는 원료 분말을 1 미크론 이하의 크기로 밀링하는 단계; 상기 밀링된 Si 분말 및 소결 조제를 혼합 및 성형하는 단계; 상기 성형체를 1350~1450 o C에서 질화 처리하여 상기 성형체 내에 반응결합 질화규소를 형성하는 단계; 및 상기 반응결합 질화규소를 1850 o C 이상의 온도에서 후소결하여반응소결질화규소소결체를 제조하는 단계를 포함하는 반응소결질화규소소결체의 제조 방법을 제공한다. 본 발명에 따르면, 높은 열전도율의 반응소결질화규소소결체를 제공할 수 있게 된다.
발명명칭 고열전도율을 갖는 반응소결질화규소의 제조 방법
출원인 한국기계연구원
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첨부파일 키프리스 검색