| 특허명 | 이온빔소스 |
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| 출원등록국 | 한국 |
| 출원번호 | 2014-0073489 |
| 출원일 | 2014-06-17 |
| 등록번호 | 1526120 |
| 등록일 | 2015-05-29 |
| 대표발명자 | 플라즈마코팅연구실 김종국 |
| 초록 | 이온빔 소스는 상면에 일정 깊이로 형성되는 링 형상의 내부 공간을 갖는 몸체와, 상기 몸체 상면에 구비되며, 상기 몸체의 내부 공간과 연통되어 이온빔을 인출하기 위한 개구를 갖는 음극과, 상기 몸체의 하부면으로부터 상기 내부 공간에 의해 구분되는 중앙 부위와 가장자리 중 상기 가장자리 부위를 관통하여 상기 내부 공간의 외측에서 상기 내부 공간으로 가스를 공급하기 위한 가스 공급 라인 및 상기 몸체의 내부 공간에 상기 음극과 이격되도록 구비되며, 외부로부터 인가되는 전원과 연동하여 상기 음극과 사이에서 전기장을 형성하여 상기 가스를 이온화하는 양극을 포함할 수 있다. 따라서, 상기 이온빔 소스는 상기 가스를 전체적으로 균일하게 공급할 수 있어 상기 이온빔 소스의 유효 처리폭을 확장할 수 있다. |
| 발명명칭 | 이온빔 소스 |
| 출원인 | 한국기계연구원|제이케이테크(주) |
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