특허명 | 플라즈마 아크 방전법을 이용한 실리콘 분말의 제조방법 |
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출원등록국 | 한국 |
출원번호 | 2014-0085485 |
출원일 | 2014-07-08 |
등록번호 | 1537216 |
등록일 | 2015-07-10 |
대표발명자 | 나노기능분말연구실 정국채 |
초록 | 본 발명은 본 발명은 실리콘 분말 모재를 제공하는 단계; 이송식 플라즈마 장치 내부로 상기 실리콘 분말 모재를 장입하는 단계; 상기 이송식 플라즈마 장치 내에서 직류 방전에 의하여 열플라즈마 제트를 발생시키는 단계; 상기 열플라즈마 제트를 이용하여 상기 실리콘 분말 모재를 용융 및 기화시키는 단계; 및 상기 기화 상태의 실리콘을 냉각시켜 실리콘 나노 분말을 생성하는 단계를 포함하는 실리콘 나노 분말의 제조방법에 관한 것으로, 실리콘 분말 모재를 플라즈마 아크로 증발시키는 아크 플라즈마 방전법에 의해 용이하게 실리콘 나노 분말을 제조할 수 있다. |
발명명칭 | 플라즈마 아크 방전법을 이용한 실리콘 분말의 제조방법 |
출원인 | 한국기계연구원 |
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