보유특허

특허명 플라즈마 아크 방전법을 이용한 실리콘 분말의 제조방법
출원등록국 한국
출원번호 2014-0085485
출원일 2014-07-08
등록번호 1537216
등록일 2015-07-10
대표발명자 나노기능분말연구실 정국채
초록 본 발명은 본 발명은 실리콘 분말 모재를 제공하는 단계; 이송식 플라즈마 장치 내부로 상기 실리콘 분말 모재를 장입하는 단계; 상기 이송식 플라즈마 장치 내에서 직류 방전에 의하여 열플라즈마 제트를 발생시키는 단계; 상기 열플라즈마 제트를 이용하여 상기 실리콘 분말 모재를 용융 및 기화시키는 단계; 및 상기 기화 상태의 실리콘을 냉각시켜 실리콘 나노 분말을 생성하는 단계를 포함하는 실리콘 나노 분말의 제조방법에 관한 것으로, 실리콘 분말 모재를 플라즈마 아크로 증발시키는 아크 플라즈마 방전법에 의해 용이하게 실리콘 나노 분말을 제조할 수 있다.
발명명칭 플라즈마 아크 방전법을 이용한 실리콘 분말의 제조방법
출원인 한국기계연구원
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첨부파일 키프리스 검색