보유특허

특허명 복수의 나노갭이 형성된 기판 및 이의 제조방법
출원등록국 한국
출원번호 2014-0130612
출원일 2014-09-29
등록번호 1639686
등록일 2016-07-08
대표발명자 소자기능박막연구실 박성규
초록 본 발명은 복수의 나노갭이 형성된 기판 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 표면에 서로 이격되어 형성된 돌기형 구조체를 포함하는 기판; 상기 기판의 표면 및 상기 돌기형 구조체 상에 형성된 금속 함유 박막; 상기 금속 함유 박막 상에 형성된 절연막; 및 상기 절연막 상에 형성된 금속 함유 나노입자;을 포함하되, 상기 금속 함유 나노입자는 다른 금속 함유 나노입자 및 상기 금속 함유 박막과 나노갭을 형성하는 것을 특징으로 하는 복수의 나노갭이 형성된 기판에 관한 것으로, 높은 흡광 특성을 지니면서 광원의 파장범위를 광범위하게 조절할 수 있는 복수의 나노갭이 형성된 기판을 제공하는 효과가 있다.
발명명칭 복수의 나노갭이 형성된 기판 및 이의 제조방법
출원인 한국기계연구원
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