| 특허명 | 무기물이 성장된 기판 및 이의 제조방법 |
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| 출원등록국 | 한국 |
| 출원번호 | 2014-0129574 |
| 출원일 | 2014-09-26 |
| 등록번호 | 1601150 |
| 등록일 | 2016-03-02 |
| 대표발명자 | 소자기능박막연구실 윤정흠 |
| 초록 | 본 발명은 무기물이 성장된 기판 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 서로 이격된 돌기형 구조체가 형성된 기판; 상기 돌기형 구조체가 형성된 지점에 성장된 무기물 함유 막대; 상기 무기물 함유 막대 상에 형성된 금속 함유 나노입자; 및 상기 금속 함유 나노입자 사이에 형성된 나노갭;을 포함하는 것을 특징으로 하는 무기물이 성장된 기판에 관한 것으로, 본 발명은 본 발명은 열적 안정성이 확보되고 나노갭이 용이하게 조절된 무기물이 성장된 기판 및 이의 제조방법을 제공하는 효과가 있다. |
| 발명명칭 | 무기물이 성장된 기판 및 이의 제조방법 |
| 출원인 | 한국기계연구원 |
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| 첨부파일 |
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