보유특허

특허명 복수의 나노갭을 포함하는 기판 및 이의 제조방법
출원등록국 한국
출원번호 2014-0129531
출원일 2014-09-26
등록번호 1687697
등록일 2016-12-13
대표발명자 소자기능박막연구실 윤정흠
초록 본 발명은 복수의 나노갭을 포함하는 기판 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 서로 이격된 돌기형 구조체가 형성된 기판; 상기 기판 표면 및 돌기형 구조체 상에 형성된 금속 함유 나노입자; 및 상기 기판과 금속 함유 나노입자 사이에 형성되고, 무기물 함유 박막층 및 금속 함유 박막층 각각을 적어도 하나 이상 포함하는 연속층;을 포함하되, 상기 금속 함유 나노입자 간, 상기 금속 함유 나노입자와 상기 금속 함유 박막층 간, 무기물 함유 박막층으로 분리된 금속 함유 박막층 간에 나노갭이 형성된 것을 특징으로 하는 복수의 나노갭을 포함하는 기판에 관한 것으로, 다중 나노갭을 형성하여 향상된 플라즈몬 공명의 증폭 효과를 얻을 수 있는 복수의 나노갭을 포함하는 기판 및 이의 제조방법을 제공하는 효과가 있다.
발명명칭 복수의 나노갭을 포함하는 기판 및 이의 제조방법
출원인 한국기계연구원
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