특허명 | 무기물 입자가 형성된 기판 및 이의 제조방법 |
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출원등록국 | 한국 |
출원번호 | 2014-0129554 |
출원일 | 2014-09-26 |
등록번호 | 1611524 |
등록일 | 2016-04-12 |
대표발명자 | 소자기능박막연구실 윤정흠 |
초록 | 본 발명은 무기물 입자가 형성된 기판 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 서로 이격된 돌기형 구조체가 형성된 기판; 상기 돌기형 구조체 및 기판 표면 상에 형성된 무기물 함유 입자; 상기 무기물 함유 입자 상에 형성된 금속 함유 나노입자;를 포함하되, 상기 금속 함유 나노입자는 상기 무기물 함유 입자 표면상으로 인접한 금속 함유 나노입자와 상기 기판 내에서 공간적으로 인접한 금속 함유 나노입자 중 적어도 어느 하나 이상과 나노갭을 형성한 것을 특징으로 하는 무기물 입자가 형성된 기판에 관한 것으로, 무기물 입자를 형성되어 열적 안정성이 확보되고 기판 구조에 대한 정보를 최소화하면서 복수의 나노갭에 의해 라만 신호를 증폭시킬 수 있는 효과가 있다. |
발명명칭 | 무기물 입자가 형성된 기판 및 이의 제조방법 |
출원인 | 한국기계연구원 |
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