| 특허명 | 이트리아 기반 전기전도성 내플라즈마 부재 및 그 제조 방법 |
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| 출원등록국 | 한국 |
| 출원번호 | 2014-0136865 |
| 출원일 | 2014-10-10 |
| 등록번호 | 1633035 |
| 등록일 | 2016-06-17 |
| 대표발명자 | 엔지니어링세라믹연구실 박영조 |
| 초록 | 이트륨 산화물을 포함하는 전기 전도성 내플라즈마 부재가 개시된다. 본 발명에서 상기 내플라즈마 부재는 이트륨 산화물로 구성되는 기지상과, Ti, Zr 및 Hf으로 이루어진 그룹 중에서 선택되는 최소한 1종의 금속의 카바이드 또는 나이트라이드를 포함하는 분산상으로 구성된다. 본 발명에 따르면, 본 발명에 따르면, 반도체급의 이트리아 복합체를 제공할 수 있어, 포커스 링과 같은 전기전도성을 요하는 내플라즈마 부재로 사용 가능하다. |
| 발명명칭 | 이트리아 기반 전기전도성 내플라즈마 부재 및 그 제조 방법 |
| 출원인 | 한국기계연구원 |
| 도면 | 다운로드 |
| 첨부파일 |
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