| 특허명 | 플라즈마 덕트부를 포함하는 진공아크 증착장비 |
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| 출원등록국 | 한국 |
| 출원번호 | 2014-0156186 |
| 출원일 | 2014-11-13 |
| 등록번호 | 1616855 |
| 등록일 | 2016-04-25 |
| 대표발명자 | 플라즈마코팅연구실 김종국 |
| 초록 | 본 발명은 아크 증발부 및 상기 아크 증발부로부터 발생된 하전입자를 기판으로 유도하기 위한 플라즈마 덕트부를 포함하는 진공 아크 증착 장치에 있어서, 상기 아크 증발부는 제1타겟부재 및 상기 제1타겟부재와 인접하여 위치하는 제2타겟부재를 포함하고, 상기 플라즈마 덕트부는 상기 제1타겟부재의 끝단과 인접하여 위치하는 제1배플부재 및 상기 제2타겟부재의 끝단과 인접하여 위치하는 제2배플부재를 포함하는 진공 아크 증착 장치에 관한 것으로, 상기 아크 증발부는 적어도 2개 이상의 타겟부재를 포함하고 있기 때문에, 진공아크를 이용한 박막을 증착함에 있어서, 하전입자가 발생되는 부분이 복수개에 해당하므로, 공정 시간이 감소할 뿐만 아니라, 대면적의 박막을 증착하는 데에 유리한 장점이 있다. |
| 발명명칭 | 플라즈마 덕트부를 포함하는 진공 아크 증착 장치 |
| 출원인 | 한국기계연구원 |
| 도면 | 다운로드 |
| 첨부파일 |
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