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특허명
플라즈마 덕트부를 포함하는 진공 아크 증착 장치
출원등록국
한국
출원번호
2014-0178364
출원일
2014-12-11
등록번호
1639630
등록일
2016-07-08
대표발명자
플라즈마코팅연구실 김종국
초록
발명명칭
출원인
도면
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