보유특허

특허명 반도체 소자 및 반도체 소자 제조방법
출원등록국 한국
출원번호 2015-0066884
출원일 2015-05-13
등록번호 1641654
등록일 2016-07-15
대표발명자 소자기능박막연구실 조병진
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