특허명 | 금속 박막 기판 및 이의 제조방법 |
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출원등록국 | 한국 |
출원번호 | 2016-0059030 |
출원일 | 2016-05-13 |
등록번호 | 1712597 |
등록일 | 2017-02-27 |
대표발명자 | 소자기능박막연구실 윤정흠 |
초록 | 본 발명은 금속 박막 기판 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 상세하게는 배향성을 가지는 기판; 및 상기 기판 상에 형성되는 금속박막;을 포함하되, 상기 금속 박막은 초기 성장 시에 상기 기판의 배향성에 상응하는 배향성을 갖도록 형성된 것을 특징으로 하는 금속 박막 기판에 관한 것으로, 본 발명에 의한 금속 박막 기판은 성장초기부터 2차원 연속 박막으로 성장되며 광투과율 및 전도성이 우수한 금속 박막을 제공하는 효과가 있다. |
발명명칭 | 금속 박막 기판 및 이의 제조방법 |
출원인 | 한국기계연구원 |
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