보유특허

특허명 탄소막이 코팅된 반도체 검사 장치용 프로브 핀 및 그 제조방법
출원등록국 한국
출원번호 2016-0078829
출원일 2016-06-23
등록번호 1825095
등록일 2018-01-29
대표발명자 표면공정연구실 김종국
초록 본 발명은 높은 내마모성을 가지면서도 반도체 소자의 물질과 이형성을 증가시켜 사용 수명을 증대할 수 있는 반도체 검사 장치용 프로브 핀으로서 반도체 소자의 단자와 접촉할 수 있는 표면부에 질소가 함유된 비정질 탄소막이 코팅된 반도체 검사 장치용 프로브 핀을 제공한다.
발명명칭 탄소막이 코팅된 반도체 검사 장치용 프로브 핀 및 그 제조방법
출원인 한국기계연구원
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첨부파일 키프리스 검색