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특허명 탄소막이 코팅된 반도체 검사 장치용 프로브 핀 및 그 제조방법
출원등록국 한국
출원번호 2016-0078829
출원일 2016-06-23
등록번호 1825095
등록일 2018-01-29
대표발명자 표면공정연구실 김종국
요약서
첨부파일