특허명 | 탄소막이 코팅된 반도체 검사 장치용 프로브 핀 및 그 제조방법 |
---|---|
출원등록국 | 한국 |
출원번호 | 2016-0078829 |
출원일 | 2016-06-23 |
등록번호 | 1825095 |
등록일 | 2018-01-29 |
대표발명자 | 표면공정연구실 김종국 |
초록 | 본 발명은 높은 내마모성을 가지면서도 반도체 소자의 물질과 이형성을 증가시켜 사용 수명을 증대할 수 있는 반도체 검사 장치용 프로브 핀으로서 반도체 소자의 단자와 접촉할 수 있는 표면부에 질소가 함유된 비정질 탄소막이 코팅된 반도체 검사 장치용 프로브 핀을 제공한다. |
발명명칭 | 탄소막이 코팅된 반도체 검사 장치용 프로브 핀 및 그 제조방법 |
출원인 | 한국기계연구원 |
도면 | 다운로드 |
첨부파일 |