특허명 | 플라즈마 에칭을 이용한 반사방지 표면의 제조방법 및 반사방지 표면이 형성된 기판 |
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출원등록국 | 한국 |
출원번호 | 2016-0106210 |
출원일 | 2016-08-22 |
등록번호 | 1954410 |
등록일 | 2019-02-26 |
대표발명자 | 표면기술연구본부 나종주 |
초록 | 본 발명은 플라즈마 건식 에칭과 무기물 증착의 반복적인 제어를 통해 형성되는 반사방지 구조층을 다양한 구조로 제어함으로써 내구성 향상과 우수한 광 투과성 및 반사방지 효과를 확보할 수 있고, 이지 클린, 내오염성, 내스크래치성 등과 같은 기능성을 부여할 수 있는 반사방지 표면의 제조 방법 및 반사방지 표면이 형성된 기판에 관한 것이다. |
발명명칭 | 플라즈마 에칭을 이용한 반사방지 표면의 제조방법 및 반사방지 표면이 형성된 기판 |
출원인 | 주식회사 쎄코|한국기계연구원 |
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