보유특허

특허명 고열전도 질화규소 소결체의 제조방법
출원등록국 한국
출원번호 2017-0024868
출원일 2017-02-24
등록번호 2052592
등록일 2019-11-29
대표발명자 엔지니어링세라믹연구실 김진명
초록 본 발명은 고열전도 질화규소 소결체의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 Si의 완전 질화를 기준으로 xSi 3 N 4 -yA 2 O 3 -zB 2 O 3 (여기서, x, y, z는 mol%이고, x, y, z 003e# 0, A 및 B는 Y, Sc, Nd 및 Yb로 이루어진 그룹 중에서 선택된 희토류 금속)의 조성식을 따르도록 Si, A 2 O 3 , 및 B 2 O 3 원료 분말을 배합하는 단계(S10)와, 상기 배합된 원료 분말을 혼합하는 단계(S20)와, 상기 혼합된 원료 분말을 성형하는 단계(S30)와, 상기 성형된 성형체를 질화하는 단계(S40), 및 상기 질화된 성형체를 소결하는 단계(S50)를 포함하는 질화규소 소결체의 제조방법을 제공함으로써, 소결체 내의 산소량을 저감시켜 고열전도도 발현에 유리하도록 하며, 소결 조건을 제어함으로써 열적, 기계적 특성이 우수한 질화규소 소결체를 제공한다.
발명명칭 고열전도 질화규소 소결체의 제조방법
출원인 한국기계연구원
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첨부파일 키프리스 검색