보유특허

특허명 전기 습윤 소자 및 이의 제조방법
출원등록국 한국
출원번호 2016-0174353
출원일 2016-12-20
등록번호 1891220
등록일 2018-08-17
대표발명자 플라즈마공정연구실 김병준
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