보유특허

특허명 방열 기판 및 이의 제조방법
출원등록국 한국
출원번호 2017-0093253
출원일 2017-07-24
등록번호 2071264
등록일 2020-01-22
대표발명자 전기화학연구실 임재홍
초록 본 발명은 질화규소(Si 3 N 4 ) 기판; 상기 질화규소(Si 3 N 4 ) 기판 상에 형성되는 Pd-TiO 2 층; 및 상기 Pd-TiO 2 층 상에 형성되는 회로 패턴을 포함하는 방열 기판 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 회로패턴의 미세화가 가능하고, 이와 동시에 고방열화가 가능한 방열 기판을 제공할 수 있다.
발명명칭 방열 기판 및 이의 제조방법
출원인 한국기계연구원
도면 다운로드
첨부파일 키프리스 검색