| 특허명 | 폴리머 밀도에 따른 나노구조 형성방법 |
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| 출원등록국 | 한국 |
| 출원번호 | 2017-0117388 |
| 출원일 | 2017-09-13 |
| 등록번호 | 1977256 |
| 등록일 | 2019-05-03 |
| 대표발명자 | 플라즈마공정연구실 이승훈 |
| 초록 | 본 발명은 폴리머 밀도에 따른 나노구조 형성방법에 관한 것이다. 보다 상세하게 본 발명은 표면 에너지 전달률을 제어하여 폴리머 밀도에 따라 원하는 형상의 나노구조를 마스크 없이 저가, 대면적으로 형성할 수 있는 폴리머의 나노구조 형성방법, 및 이에 의한 특정 형상의 나노구조가 형성된 폴리머에 관한 것이다. |
| 발명명칭 | 폴리머의 밀도에 따른 나노구조 형성방법 |
| 출원인 | 한국기계연구원 |
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| 첨부파일 |
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