특허명 | 미끄럼 절연막을 포함하는 기판 및 이의 제조방법 |
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출원등록국 | 한국 |
출원번호 | 2018-0048785 |
출원일 | 2018-04-26 |
등록번호 | 2046436 |
등록일 | 2019-11-13 |
대표발명자 | 소자기능박막연구실 박성규 |
초록 | 본 발명은 금속원자의 표면이동을 활성화시키는 저(低)표면에너지 미끄럼 절연막을 사용하여 형성된 기판 및 이의 제조방법에 관한 것이다. 더욱 상세하게 본 발명은 기판; 상기 기판 상에 형성된 저(低)표면에너지를 갖는 미끄럼 절연막; 및 상기 미끄럼 절연막 상에 형성된 나노입자;를 포함하되, 상기 미끄럼 절연막의 표면에너지에 비해 상기 나노입자의 표면에너지가 1000 mJ/m 2 이상 높은, 미끄럼 절연막을 포함하는 기판에 관한 것이다. 상기 본 발명에 의하면, 고밀도로 형성된 이격 나노입자 간, 및 하부 기판과 상부 나노입자 간의 플라즈모닉 커플링 현상을 극대화 하여, 가시광 전 영역에서 낮은 광손실 특성을 가지면서 매우 높은 SERS 증강지수를 갖는 기판을 제공할 수 있다. |
발명명칭 | 미끄럼 절연막을 포함하는 기판 및 이의 제조방법 |
출원인 | 한국기계연구원 |
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