특허명 | 임프린트 장치용 롤 스탬프 및 이의 제조방법 |
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출원등록국 | 한국 |
출원번호 | 2018-0071553 |
출원일 | 2018-06-21 |
등록번호 | 2109913 |
등록일 | 2020-05-06 |
대표발명자 | 전기화학연구실 김만 |
초록 | 본 발명은 외측에 제1음각 패턴을 포함하고, 내측에 제1중공부를 포함하는 원통형 금속 몰드를 제조하는 단계; 상기 원통형 금속몰드와 일정 간격 이격하여 금형을 배치하는 단계; 상기 원통형 금속몰드와 상기 금형의 사이 공간에 충진물을 충진하는 단계; 상기 충진물로부터 상기 금형 및 상기 원통형 금속몰드를 분리하여, 내경에 제1양각 패턴을 포함하고, 내측에 제2중공부를 포함하는 원통형 충진물 몰드를 제조하는 단계; 상기 원통형 충진물 몰드의 상기 제2중공부에 금속물질을 충진하는 단계; 및 상기 충진된 금속물질로부터 상기 원통형 충진물 몰드를 분리하는 단계를 포함하는 롤 스탬프의 제조방법에 관한 것으로, 상기 롤 스탬프의 전면적에 접합부가 없어, 에지 영역들이 분리되는 문제점이 없으며, 또한, 접합부가 없으므로, 연속적으로 패터닝 공정을 수행할 수 있다. |
발명명칭 | 임프린트 장치용 롤 스탬프 및 이의 제조방법 |
출원인 | 한국기계연구원 |
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