보유특허

특허명 임프린트 장치용 롤 스탬프 및 이의 제조방법
출원등록국 한국
출원번호 2018-0071553
출원일 2018-06-21
등록번호 2109913
등록일 2020-05-06
대표발명자 전기화학연구실 김만
초록 본 발명은 외측에 제1음각 패턴을 포함하고, 내측에 제1중공부를 포함하는 원통형 금속 몰드를 제조하는 단계; 상기 원통형 금속몰드와 일정 간격 이격하여 금형을 배치하는 단계; 상기 원통형 금속몰드와 상기 금형의 사이 공간에 충진물을 충진하는 단계; 상기 충진물로부터 상기 금형 및 상기 원통형 금속몰드를 분리하여, 내경에 제1양각 패턴을 포함하고, 내측에 제2중공부를 포함하는 원통형 충진물 몰드를 제조하는 단계; 상기 원통형 충진물 몰드의 상기 제2중공부에 금속물질을 충진하는 단계; 및 상기 충진된 금속물질로부터 상기 원통형 충진물 몰드를 분리하는 단계를 포함하는 롤 스탬프의 제조방법에 관한 것으로, 상기 롤 스탬프의 전면적에 접합부가 없어, 에지 영역들이 분리되는 문제점이 없으며, 또한, 접합부가 없으므로, 연속적으로 패터닝 공정을 수행할 수 있다.
발명명칭 임프린트 장치용 롤 스탬프 및 이의 제조방법
출원인 한국기계연구원
도면 다운로드
첨부파일 키프리스 검색