| 특허명 | 비철재료용 가공공구의 표면에 ta-C 코팅 방법 |
|---|---|
| 출원등록국 | 한국 |
| 출원번호 | 2017-0089482 |
| 출원일 | 2017-07-14 |
| 등록번호 | 2018423 |
| 등록일 | 2019-08-29 |
| 대표발명자 | 보림 |
| 초록 | 본 발명은 비철재료용 가공공구의 표면에 ta-C 코팅 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 우수한 밀착력을 갖는 ta-C층을 형성하고 또한 알루미늄(Al), 구리(Cu), 수지와 같은 비철재료가 초경공구의 표면에 부착되는 것을 차단하는 성이 우수한 비철재료용 가공공구의 표면에 ta-C 코팅방법에 관한 것으로, 선형 이온빔 소스에서 발생되는 이온으로 초경공구의 표면을 50nm 이하로 에칭하는 단계와, 상기 에칭된 초경공구 표면과 ta-C층의 밀착력을 높이기 위하여 스퍼터링으로 초경공구 표면에 110nm 이하의 중간층을 코팅하는 단계와, 필터드 아크 이온을 이용하여 상기 중간층에 100nm 이하의 소프트 ta-C층을 형성하는 단계와, 경도와 이형성을 확보하기 위해 필터드 아크 이온을 이용하여 상기 소프트 ta-C층에 300nm 이하의 하드 ta-C층을 형성하는 단계를 포함한다. |
| 발명명칭 | 비철재료용 가공공구의 표면에 ta-C 코팅 방법 |
| 출원인 | (주)보림시스템|한국기계연구원 |
| 도면 | 다운로드 |
| 첨부파일 |
|
