| 특허명 | 3차원 플라즈모닉 나노캐비티를 포함하는 기판 및 이의 제조방법 |
|---|---|
| 출원등록국 | 한국 |
| 출원번호 | 2021-0047379 |
| 출원일 | 2021-04-12 |
| 등록번호 | 10-2477965 |
| 등록일 | 2022-12-12 |
| 대표발명자 | 나노바이오융합연구실 박성규 |
| 초록 | 본 발명은 3차원 플라즈모닉 나노캐비티를 포함하는 기판 및 이의 제조방법에 관한 것이다. 더욱 상세하게, 본 발명은 수평(lateral) 캐비티 구조와 수직(vertical) 캐비티 구조를 고밀도로 포함하는 3차원 플라즈모닉 나노캐비티 기판 및 이의 제조방법에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 열적 안정성이 뛰어난 고밀도 절연 나노구조체를 포함하고 있어, 고출력 레이저의 조사에도 안정적인 표면 증강 라만 산란 스펙트럼을 방출하는 3차원 플라즈모닉 나노캐비티 기판 및 이의 제조방법에 관한 것이다. |
| 발명명칭 | 3차원 플라즈모닉 나노캐비티를 포함하는 기판 및 이의 제조방법 |
| 출원인 | 한국재료연구원 |
| 도면 | 다운로드 |
| 첨부파일 |
|
