보유특허

특허명 플라즈마 처리장치용 제어 카트리지 및 이를 이용하는 플라즈마 처리방법
출원등록국 한국
출원번호 2021-0047380
출원일 2021-04-12
등록번호 2505532
등록일 2023-02-27
대표발명자 나노바이오융합연구실 이승훈
초록 본 발명은 플라즈마 처리장치용 제어 카트리지 및 이를 이용하는 플라즈마 처리방법에 관한 것이다. 더욱 상세하게, 본 발명은 플라즈마 처리 시 대상체에 대해 균일한 플라즈마 처리가 가능하고 플라즈마 방전 특성 및 진행 특성을 제어할 수 있는, 플라즈마 처리장치용 제어 카트리지 및 이를 이용하는 플라즈마 처리방법에 관한 것이다.
발명명칭 플라즈마 처리장치용 제어 카트리지 및 이를 이용하는 플라즈마 처리방법
출원인 한국재료연구원
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첨부파일 키프리스 검색