특허명 | 플라즈마 처리장치용 제어 카트리지 및 이를 이용하는 플라즈마 처리방법 |
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출원등록국 | 한국 |
출원번호 | 2021-0047380 |
출원일 | 2021-04-12 |
등록번호 | 2505532 |
등록일 | 2023-02-27 |
대표발명자 | 나노바이오융합연구실 이승훈 |
초록 | 본 발명은 플라즈마 처리장치용 제어 카트리지 및 이를 이용하는 플라즈마 처리방법에 관한 것이다. 더욱 상세하게, 본 발명은 플라즈마 처리 시 대상체에 대해 균일한 플라즈마 처리가 가능하고 플라즈마 방전 특성 및 진행 특성을 제어할 수 있는, 플라즈마 처리장치용 제어 카트리지 및 이를 이용하는 플라즈마 처리방법에 관한 것이다. |
발명명칭 | 플라즈마 처리장치용 제어 카트리지 및 이를 이용하는 플라즈마 처리방법 |
출원인 | 한국재료연구원 |
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