| 특허명 | 다이아몬드 공구 및 이의 수명 연장 방법 |
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| 출원등록국 | 한국 |
| 출원번호 | 2021-0099012 |
| 출원일 | 2021-07-28 |
| 등록번호 | 10-2472722 |
| 등록일 | 2022-11-25 |
| 대표발명자 | 극한환경코팅연구실 김종국 |
| 초록 | 본 발명은 다이아몬드 공구 및 이의 수명 연장 방법에 관한 발명으로, 구체적으로, 기재 상에 형성되는 다이아몬드 막을 포함하는 다이아몬드 공구로서, 상기 다이아몬드 막 표면을 1.0 keV 이상의 이온 빔으로 처리한 것을 특징으로 하는, 다이아몬드 공구 및 이의 수명 연장 방법을 제공한다. 본 발명에 따른 다이아몬드 공구는 다이아몬드 막 표면을 1.0 keV 이상의 고에너지 이온 빔 처리함으로써, 다이아몬드 막의 내부 응력을 완화하고 표면 거칠기를 개선할 수 있다. 본 발명은 특히, 공구 사용 개시 후 표면 거칠기가 유지되는 효과가 있다. 이에 따라, 공구 사용시 높은 표면 거칠기로 인한 불필요한 대상 시료 손상이 방지되어, 다이아몬드 공구로서의 기능적 수명이 향상되는 장점을 갖는다. |
| 발명명칭 | 다이아몬드 공구 및 이의 수명 연장 방법 |
| 출원인 | 한국재료연구원 |
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| 첨부파일 |
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