특허명 | 진공 서스펜션 플라즈마 용사장치 및 진공 서스펜션 플라즈마 용사방법 |
---|---|
출원등록국 | 한국 |
출원번호 | 2017-0158758 |
출원일 | 2017-11-24 |
등록번호 | 1986306 |
등록일 | 2019-05-30 |
대표발명자 | 플라즈마공정연구실 유연우 |
초록 | 본 발명은 진공 서스펜션 플라즈마 용사장치 및 진공 서스펜션 플라즈마 용사방법에 관한 것이고, 본 발명의 실시 예를 따르는 진공 서스펜션 플라즈마 용사장치는 진공 챔버; 상기 진공 챔버 내부의 압력을 10 내지 500mbar로 유지하도록 하는 압력조절장치; 상기 진공 챔버에 배치되고, 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생부 및 상기 발생된 플라즈마를 분사하는 분사구를 포함하는 플라즈마 건; 상기 플라즈마 건에서 분사된 플라즈마에 서스펜션을 공급하도록 배치된 드립프리아토마이징 노즐; 및 상기 드립프리아토마이징 노즐에 연통되고, 상기 드립프리아토마이징 노즐에 서스펜션을 공급하는 서스펜션 공급부;를 포함하고, 상기 서스펜션은 분말 및 용매의 혼합체이고, 상기 분말은 금속 분말, 산화물계 세라믹 분말 및 비산화물계 세라믹 분말 중 적어도 하나를 포함하고, 상기 용매는 물, 알코올, 벤젠, 또는 톨루엔 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 한다. |
발명명칭 | 진공 서스펜션 플라즈마 용사장치 및 진공 서스펜션 플라즈마 용사방법 |
출원인 | 한국기계연구원 |
도면 | 다운로드 |
첨부파일 |