| 초록 |
본 발명은 진공 또는 대기압에서 피처리물의 표면에 플라즈마를 발생시켜 거칠게 가공한 후 피처리물의 표면에 소수성부재를 결합시킴으로써 초발수성을 가지도록 하는 플라즈마 처리를 통한 초발수 표면 형성방법에 관한 것이다. 본 발명에 의한 플라즈마 처리를 통한 초발수 표면 형성방법은, 진공챔버(C) 내부에 구비된 전극(10) 상면에 피처리물(W)을 설치하는 피처리물설치단계(S100)와, 상기 진공챔버(C) 내부를 진공 분위기로 조성하는 진공형성단계(S200)와, 상기 전극(10)에 전원을 공급하여 플라즈마를 발생시키는 플라즈마발생단계(S300)와, 상기 전극(10)에 가해지는 전압 및 전원공급시간을 제어하여 상기 피처리물(W)의 표면을 에칭하는 표면에칭단계(S400)와, 상기 진공챔버(C) 내부에 소수성부재를 유입시키고, 플라즈마를 이용하여 피처리물(W)의 표면에 소수성부재를 결합시키는 소수화단계(S500)가 선택적으로 실시된다. 이와 같은 구성에 의하면, 공정수가 감소하며 균일하고 넓은 소수성 표면을 가지는 피처리물을 제조 가능한 이점이 있다. 플라즈마, 에칭, 접촉각, 초발수, 거칠기 |
