| 초록 |
본 발명은 태양전지에 사용되는 반사방지막 표면에 나노돌기를 형성하는 방법 및 태양전지 반사방지막의 투과율을 증진시키는 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 유리에 투명 폴리머 필름을 부착시키는 단계(단계 1); 상기 단계 1에서 제조된 유리를 챔버 내부에 구비된 전극 상측에 설치하고 진공분위기 또는 대기 분위기를 조성하는 단계(단계 2); 및 상기 단계 2의 분위기에서 전극에 전원을 공급하여 플라즈마를 발생시켜 유리 표면에 부착된 투명 폴리머 필름을 에칭하여 원뿔 형상의 나노돌기를 형성하는 단계(단계 3)를 포함하는 태양전지에 사용되는 반사방지막 표면에 나노돌기를 형성하는 방법 및 태양전지 반사방지막 표면에 나노돌기를 도입하여 입사되는 빛의 굴절률이 변경되도록 제어함으로써 빛이 반사되는 것을 방지하여 태양전지 반사방지막의 투과율을 증진시키는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 태양전지에 사용되는 반사방지막 표면에 나노돌기를 형성하는 방법은 투명한 폴리머 필름을 먼저 유리에 부착함으로써 나노돌기 형성에 안정성을 확보할 수 있고, 플라즈마를 이용하여 제조공정이 간단하며, 태양전지에 원뿔 형상의 나노돌기가 도입되어 빛을 굴절률이 변경되도록 제어함으로써 빛이 반사되는 것을 방지하므로, 태양전지의 광효율을 증진시키는데 유용하게 이용할 수 있다. |
