| 특허명 | 진공척용 이층 기공구조 다공성 세라믹 소재 및 이의 제조방법 |
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| 출원등록국 | 한국 |
| 출원번호 | 2010-0052677 |
| 출원일 | 2010-06-04 |
| 등록번호 | 1149350 |
| 등록일 | 2012-05-17 |
| 대표발명자 | 엔지니어링세라믹연구 송인혁 |
| 초록 | 다공질 세라믹 소재를 이용한 진공척 소재에 관한 것으로서, 진공척 소재는 높은 통기성을 가지고 있어야 하며, 이는 조대한 열린 기공구조를 통하여 이룰 수 있다. 그러나 진공척의 정밀도 및 피흡착물의 변형을 억제하기 위해서는 진공척 소재의 기공구조 미세화가 필요하지만, 기공구조의 미세화는 통기도의 저하를 유발한다. 이와 같은 문제를 해결하기 위하여 본 발명에서는 미세구조를 기공 크기별로 조대한 부분과 미세한 부분으로 이층구조화 하였다. 특히 미세 기공 구조층을 셀룰라 기공 구조로 제조함으로써 통기도의 저하를 최소화할 수 있는 미세구조를 만들 수 있다. 즉 이층기공구조를 가지는 진공척용 다공성 세라믹 소재는, 다수 미세기공을 구비하여 셀룰라 기공구조를 가지는 흡착층과, 상기 흡착층보다 큰 조대기공을 갖는 서포터층을 포함하여 구성되며, 상기 미세기공과 조대기공은 서로 연통하는 것을 특징으로 한다. |
| 발명명칭 | 이층기공구조를 가지는 진공척용 다공성 세라믹 소재 및 이의 제조방법 |
| 출원인 | 한국기계연구원 |
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| 첨부파일 |
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