| 특허명 | 몰드용 기판 및 이를 이용한 프로브 핀의 제조방법 |
|---|---|
| 출원등록국 | 한국 |
| 출원번호 | 2011-0005516 |
| 출원일 | 2011-01-19 |
| 등록번호 | 1177878 |
| 등록일 | 2012-08-22 |
| 대표발명자 | 전기화학연구그룹 이주열 |
| 초록 | 본 발명은 베이스 기판; 상기 베이스 기판 상에 형성되고, 형성하고자 하는 프로브 핀의 형상에 대응하는 트렌치; 상기 트렌치의 표면 상부에 형성된 산화막; 및 상기 산화막의 상부에 형성된 자기 조립 단분자 패턴을 포함하는 몰드용 기판 및 이를 이용한 프로브 핀의 제조방법에 관한 것으로, 프로브 핀의 제작을 위한 몰드 형성과정을 간소화하고 프로브 핀 제조공정에서 몰드를 계속적으로 재활용할 수 있는 효과가 있다. |
| 발명명칭 | 몰드용 기판 및 이를 이용한 프로브 핀의 제조방법 |
| 출원인 | 한국기계연구원 |
| 도면 | 다운로드 |
| 첨부파일 |
|
