| 특허명 | 투습 방지막 및 투명 전도성 박막이 구비된 기판 |
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| 출원등록국 | 한국 |
| 출원번호 | 2011-0029907 |
| 출원일 | 2011-03-31 |
| 등록번호 | 1235082 |
| 등록일 | 2013-02-14 |
| 대표발명자 | 기능박막연구그룹 이건환 |
| 초록 | 본 발명에 의한 투습방지막 및 투명전도성박막이 구비된 기판은, 폴리머로 이루어지며 이온빔에 의해 표면이 전처리된 투명모재와; 상기 투명모재 일측에 플라즈마화학증기증착법(PECVD:Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)을 통해 형성된 실리콘계 유기화합물박막과, 상기 실리콘계 유기화합물박막 일측에 PECVD법을 통해 형성되어 실리콘계 유기화합물박막 입자의 경계면을 채우며 실리콘계 무기화합물로 구성된 실리콘계 무기화합물박막으로 이루어진 투습방지막과; 상기 투습방지막 외측에 스퍼터링법에 의해 형성된 투명전도성박막을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다. |
| 발명명칭 | 투습방지막 및 투명전도성박막이 구비된 기판 |
| 출원인 | 한국기계연구원 |
| 도면 | 다운로드 |
| 첨부파일 |
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