| 특허명 | 이온빔 발생장치 |
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| 출원등록국 | 한국 |
| 출원번호 | 2011-0039925 |
| 출원일 | 2011-04-28 |
| 등록번호 | 1188604 |
| 등록일 | 2012-09-28 |
| 대표발명자 | 기능박막연구그룹 김도근 |
| 초록 | 본 발명에 의한 이온빔 발생장치는, 자기장을 발생하는 자성체와, 상기 자성체를 내부에 수용하고 상기 자성체와 접지된 몸체와, 상기 몸체 내부에서 방전가스에 고전압을 인가하는 양극과, 상기 몸체 내부를 개방하는 이온인출유로를 형성하여 몸체 외부로 이온빔의 인출을 가능하게 하는 유로형성부를 구비하는 음극을 포함하여 구성되며, 상기 유로형성부는 높이방향으로 갈수록 횡단면적이 변화하는 것을 특징으로 한다. |
| 발명명칭 | 이온빔 발생장치 |
| 출원인 | 한국기계연구원 |
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| 첨부파일 |
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