특허명 | 진공척용 고통기성 다공성 세라믹 소재 및 이의 제조방법 |
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출원등록국 | 한국 |
출원번호 | 2011-0041691 |
출원일 | 2011-05-02 |
등록번호 | 1222478 |
등록일 | 2013-01-09 |
대표발명자 | 엔지니어링세라믹연구그룹 송인혁 |
초록 | 본 발명에 의한 진공척용 고통기성 다공성 세라믹 소재는, 탄화규소입자(SiC)와 금속규소(Si)입자와, 2.0 중량% 이하의 카본(C)과, 1.0 내지 5.0 중량%의 보론(B)을 포함하여 구성되고 미세기공이 형성됨을 특징으로 한다. 본 발명에 의한 진공척용 고통기성 다공성 세라믹 소재의 제조방법은, 14 내지 30 중량%의 금속규소(Si)입자와, 2.0 중량% 이하의 카본(C)과, 1.0 내지 5.0 중량%의 보론(B)과 잔부(殘部)인 탄화규소입자(SiC) 및 가소제를 준비하는 재료준비단계와, 상기 재료를 혼합하는 재료혼합단계와, 상기 재료를 성형하여 성형체를 형성하는 재료성형단계와. 상기 성형체를 소결하여 미세기공을 구비하는 진공척용 고통기성 다공성 세라믹 소재를 완성하는 소결단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다. |
발명명칭 | 진공척용 고통기성 다공성 세라믹 소재 및 이의 제조방법 |
출원인 | 한국기계연구원 |
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