| 특허명 | 프로브 핀 및 이의 제조방법 |
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| 출원등록국 | 한국 |
| 출원번호 | 2011-0114002 |
| 출원일 | 2011-11-03 |
| 등록번호 | 1379426 |
| 등록일 | 2014-03-24 |
| 대표발명자 | 전기화학연구그룹 이주열 |
| 초록 | 본 발명은 프로브 팁 영역 및 프로브 빔 영역을 포함하는 프로브 핀에 있어서, 상기 프로브 핀은, 상기 프로브 팁 영역 및 상기 프로브 빔 영역에 위치하는 제1금속층; 및 상기 프로브 빔 영역에 위치하고, 상기 제1금속층 상에 위치하는 제2금속층을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 핀에 관한 것으로, 접합→몰드 제거의 공정을 배제한 간단한 공정에 의해, 프로브 팁과 프로브 빔을 포함하는 프로브 핀을 제조할 수 있는 효과가 있다. |
| 발명명칭 | 프로브 핀 및 이의 제조방법 |
| 출원인 | 한국기계연구원 |
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| 첨부파일 |
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