| 특허명 | 플라즈마를 국부적으로 발생시키는 장치 |
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| 출원등록국 | 한국 |
| 출원번호 | 2011-0121974 |
| 출원일 | 2011-11-22 |
| 등록번호 | 1328076 |
| 등록일 | 2013-11-05 |
| 대표발명자 | 기능박막연구그룹 남기석 |
| 초록 | 본 발명은 플라즈마의 선택적인 분포를 정밀하게 확보할 수 있는 대기압 플라즈마를 국부적으로 발생시키는 장치를 위하여, 절연체 부재 및 복수의 도전체 패턴들을 포함하는 제1전극과, 상기 제1전극 상에 배치되며 상기 복수의 도전체 패턴들 중의 적어도 하나와 직접 접촉하는 처리대상물과, 상기 처리대상물 상에 이격되어 배치되고 상기 처리대상물과의 사이에서 대기압 플라즈마가 발생되는 제2전극과 상기 제1전극과 상기 제2전극에 전기적으로 각각 연결되며 상기 대기압 플라즈마를 발생시키는 전원부를 구비하는, 플라즈마를 국부적으로 발생시키는 장치를 제공한다. |
| 발명명칭 | 플라즈마를 국부적으로 발생시키는 장치 |
| 출원인 | 한국기계연구원 |
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| 첨부파일 |
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