특허명 | 내굴곡성박막과 투명전도성박막이 구비된 투명유연기판 및 이의 제조방법 |
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출원등록국 | 한국 |
출원번호 | 2011-0146648 |
출원일 | 2011-12-30 |
등록번호 | 1297432 |
등록일 | 2013-08-09 |
대표발명자 | 기능박막연구그룹 이건환 |
초록 | 본 발명에 의한 내굴곡성박막과 투명전도성박막이 구비된 투명유연기판은, 폴리머로 이루어지며 이온빔에 의해 표면이 전처리된 투명모재와, 상기 투명모재에 스퍼터링법을 이용하여 ITO, IZO, AZO, GZO 중 어느 하나로 이루어져 증착된 투명전도성박막과, 상기 투명전도성박막 외측에 형성된 내굴곡성박막을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다. 본 발명에 의한 내굴곡성박막과 투명전도성박막이 구비된 투명유연기판의 제조 방법은, 폴리머로 이루어진 투명모재의 표면을 이온빔으로 전처리하는 전처리단계와, 상기 투명모재의 외면에 스퍼터링법을 이용하여 ITO, IZO, AZO, GZO 중 어느 하나로 이루어진 투명전도성박막을 형성하는 투명전도성박막형성단계와, 상기 투명전도성박막 외면에 Ag 나노 와이어가 포함된 전도성 페이스트, 전도성 잉크, 전도성 고분자 중 어느 하나 이상으로 형성된 내굴곡성박막을 형성하는 내굴곡성박막형성단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다. |
발명명칭 | 내굴곡성박막과 투명전도성박막이 구비된 투명유연기판 및 이의 제조방법 |
출원인 | 한국기계연구원 |
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